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应用材料申请用于半导体触点的最佳材料堆叠专利促进提高器件速度

时间:2026-01-26 07:00:47
  

  国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“用于半导体触点的最佳材料堆叠”的专利,公开号CN121014279A,申请日期为2024年9月。

  专利摘要显示,本公开的方法使得能够形成高导电性触点,所述高导电性触点促进提高器件速度和降低半导体器件的操作电压,所述半导体器件诸如但不限于半导体上金属(MOS)晶体管和类似物。在一个实施方式中,所述方法通过形成金属‑绝缘体‑半导体(MIS)接触结构或非化学计量层接触结构来创建可用于N型或P型MOS器件的最佳触点。需注意的是,N型或P型触点需要不同的功函数金属来实现低肖特基势垒高度(SBH)。

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